可移动型平面度测量装置

专利权的终止

摘要

在平面度测量装置中，具有平面度检测传感器的传感器单元沿直线导轨是可滑动的。支撑系统支撑直线导轨，使得直线导轨在水平面中是可旋转的，由此用具有平面度检测传感器的传感器单元完全扫描被测量的晶片工作台的表面，以便确保晶片工作台的整个表面的平面度测量。

基本信息

专利标题：

可移动型平面度测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1779413A

申请号：

CN200510116135.5

公开（公告）日：

2006-05-31

申请日：

2005-10-25

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

矢野克广

申请人：

恩益禧电子股份有限公司

申请人地址：

日本神奈川

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

穆德骏

优先权：

CN200510116135.5

主分类号：

G01B11/30

IPC分类号：

G01B11/30 G01B7/34

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01B

长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量

G01B11/275

••用于检测轮子准直度

G01B11/30

用于计量表面的粗糙度和不规则性

法律状态

2021-10-12 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01B 11/30
申请日 : 20051025
授权公告日 : 20071226
终止日期 : 20201025

2017-12-26 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : G01B 11/30
变更事项 : 专利权人
变更前 : 瑞萨电子株式会社
变更后 : 瑞萨电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本神奈川
变更后 : 日本东京

2010-12-22 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101055585337
IPC(主分类) : G01B 11/30
专利号 : ZL2005101161355
变更事项 : 专利权人
变更前 : 恩益禧电子股份有限公司
变更后 : 瑞萨电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本神奈川
变更后 : 日本神奈川

2007-12-26 ：

授权

2006-07-26 ：

实质审查的生效

2006-05-31 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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