用于静电过滤器的电极

授权

摘要

本实用新型提供一种用于静电过滤器的电极。在一些实施例中，系统可包含接收离子束的静电过滤器，静电过滤器包含安置在离子束线的相对侧的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极中的每一个具有位于第一端与第二端之间的中心区域，其中第一电极的第一外表面与第二电极的第二外表面之间的距离沿着在第一端与第二端之间延伸的电极纵轴变化。系统可进一步包含与静电过滤器连通的电源，电源可操作以向第一电极和第二电极供应电压和电流，其中第一外表面与第二外表面之间的可变距离引起离子束会聚或发散。

基本信息

专利标题：

用于静电过滤器的电极

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020170300.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-14

授权号：

CN211507564U

授权日：

2020-09-15

发明人：

罗伯特·C·林德柏格亚历山大·利坎斯奇惠妮·拉伯斯法兰克·辛克莱史费特那·瑞都凡诺

申请人：

应用材料股份有限公司

申请人地址：

美国加州圣塔克拉尔,鲍尔斯大道3050号

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司

代理人：

杨文娟

优先权：

CN202020170300.5

主分类号：

H01J37/147

IPC分类号：

H01J37/147 H01J37/317 H01L21/67