用于静电卡盘的螺旋多相电极
授权
摘要
本申请案涉及用于静电卡盘的螺旋多相电极。静电卡盘包含各自具有围绕所述静电卡盘的表面的中心的螺旋形状的多个电极，以提供多相静电卡盘。各电极可连接到不同相位的电力。所述螺旋形状可各自相互避开以及避开所述静电卡盘中的所述表面中的孔或开口。所述螺旋形状可使用处理器用算法确定。这些静电卡盘可包含三个或更多个电极。制造所述静电卡盘的方法包含确定所述电极中的每一者的形状及提供所述电极中的每一者。
基本信息
专利标题 ：
用于静电卡盘的螺旋多相电极
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123140945.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-14
授权号 ：
CN216528823U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
陈俊泓J·莱辛斯基刘研
申请人 ：
恩特格里斯公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
李婷
优先权 ：
CN202123140945.8
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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