一种用于晶片夹持的静电卡盘
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本实用新型公开了一种用于晶片夹持的静电卡盘，包括基座，子吸盘，其中基座上有导电通孔，子吸盘安装在基座上，子吸盘下方有基座的导电通孔。所述子吸盘包括绝缘层，电极层，薄绝缘层，电极层嵌装在绝缘层的凹槽内，薄绝缘层粘接在电极层上。本实用新型通过采用多子吸盘阵列方式，实现对晶片静电吸附，吸附可靠，散热性能提高。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶片夹持的静电卡盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620113049.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-04-24
授权号 ：
CN2922118Y
授权日 ：
2007-07-11
发明人 ：
彭立波郭健辉易文杰许波涛
申请人 ：
北京中科信电子装备有限公司
申请人地址 ：
100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段
代理机构 ：
北京中海智圣知识产权代理有限公司
代理人 ：
曾永珠
优先权 ：
CN200620113049.9
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2009-06-17 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-07-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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