一种静电卡盘及基板夹持装置
授权
摘要
本实用新型涉及夹持装置技术领域，尤其是一种静电卡盘及基板夹持装置，包括放置箱体，放置箱体的一个侧壁上设有开口，放置箱体的内壁上对称连接有若干支撑板，若干支撑板之间等距设置，若干支撑板的底部均同轴设有压板，若干压板接近放置箱体内壁的一侧上对称垂直连接有两个定位杆，放置箱体内壁对应处设有条形槽，条形槽的长度等于支撑板与位于下放且相邻的压板之间的距离，定位杆的另一端贯穿对应位置处的条形槽设置，位于放置箱体外部的定位杆形成两排。本实用新型设置的支撑板能够对放置在压板顶部的基板、静电卡盘进行稳定的夹持，且增大了装置整体的夹持力。
基本信息
专利标题 ：
一种静电卡盘及基板夹持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921905361.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-07
授权号 ：
CN212355630U
授权日 ：
2021-01-15
发明人 ：
何启龙
申请人 ：
临沂晶华陶瓷有限公司
申请人地址 ：
山东省临沂市罗庄区付庄办事处义和庄村东250M
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921905361.5
主分类号 ：
B65G47/90
IPC分类号 ：
B65G47/90
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
法律状态
2021-01-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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