一种微压传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种微压传感器，所述微压传感器包括SOI衬底，在所述SOI衬底上设置有弹性元件和敏感元件，以实现对外加微压的测量；其中，弹性元件包括弹性硅膜和四个梯形梁结构，敏感元件为梯形梁结构上四个压敏电阻构成的惠斯通电桥结构。本实用新型通过微电子机械加工技术在SOI晶圆上制作弹性硅膜、四个梯形梁结构和四个压敏电阻，具有集成化和小型化的特点，构成的微压传感器能够实现对外加压力的检测且能实现微压测量。
基本信息
专利标题 ：
一种微压传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020199875.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-19
授权号 ：
CN211504500U
授权日 ：
2020-09-15
发明人 ：
赵晓锋武静刘义波温殿忠
申请人 ：
黑龙江大学
申请人地址 ：
黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路74号
代理机构 ：
北京康思博达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘冬梅
优先权 ：
CN202020199875.X
主分类号 ：
G01L9/06
IPC分类号 ：
G01L9/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/02
利用改变欧姆电阻值的，例如，使用电位计
G01L9/06
压电电阻器件的
法律状态
2020-09-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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