一种高精度平面度检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种高精度平面度检测装置,包括检测箱体、平面度计算模块、匀光模块和取像模块,检测箱体顶壁开有卡口,卡口处卡设有平面平晶,所述匀光模块和取像模块设于检测箱体内,匀光模块包括光源罩和设于光源罩中的三色干涉光源,光源罩顶壁为匀光板;取像模块包括若干个CCD网络相机,CCD网络相机朝向平面平晶底部,对平面平晶底部取像;CCD网络相机与平面度计算模块连接。本实用新型检测时平面平晶底部、匀光模块和取像模块均处于封闭的检测箱体内,同时通过多个CCD网络相机取像,能够有效避免外界光环境对匀光和取像的干扰,使干涉条纹的呈现和取像更准确,增加平面度的检测精度。
基本信息
专利标题 :
一种高精度平面度检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020206817.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-25
授权号 :
CN211291374U
授权日 :
2020-08-18
发明人 :
伍玮罗利娟钟海张云飞
申请人 :
成都威博恩科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市武侯区
代理机构 :
成都中汇天健专利代理有限公司
代理人 :
刘雨田
优先权 :
CN202020206817.5
主分类号 :
G01B11/30
IPC分类号 :
G01B11/30
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/275
••用于检测轮子准直度
G01B11/30
用于计量表面的粗糙度和不规则性
法律状态
2020-08-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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