一种真空三维位移平台
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空三维位移平台，包括下法兰、X方向螺母座、Y方向螺母座和X向活动块，所述下法兰的上方设置有波纹管，且波纹管的外侧连接有Y向固定法兰，所述Y向固定法兰的上方连接有连接块，所述连接块的左侧设置有Y向固定块，且Y向固定块的正面安置有Y向活动块，所述Y向活动块的上侧安装有X方向固定块，且X方向固定块的X方向活动块，所述Z向轴承座的内侧表面镶嵌有Z向卡簧，且Z向轴承的上方设置有Z向第二螺母，所述Z向轴承的内侧设置有Z向调节丝杆，且Z向调节丝杆的顶侧末端固定有Z向手轮。设置有Z向轴承座与Z向固定块，能够让其加装在有需要位置调节需求的两个真空部件中间，且使其达到三维位移调节的功能。
基本信息
专利标题 ：
一种真空三维位移平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020216098.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-26
授权号 ：
CN211264161U
授权日 ：
2020-08-14
发明人 ：
邵玮陆伟华
申请人 ：
南通纳瑞纳米科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市高新区杏园路299号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020216098.5
主分类号 ：
G05B19/19
IPC分类号 ：
G05B19/19
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05B
一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B19/00
程序控制系统
G05B19/02
电的
G05B19/18
数字控制，即在特殊机床中的自动操作机器，例如在1个制造设施中通过以数字形式的程序数据来执行定位、移动或协调操作
G05B19/19
以定位或轮廓控制系统为特征的，例如控制从1个程序点到另1个的位置或控制沿1个程序的连续路径的移动
法律状态
2020-08-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
