一种低温旋转型石英等离子表面处理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种低温旋转型石英等离子表面处理装置，其特征是：包括表面处理箱，表面处理箱的箱口设置有密封门，表面处理箱内设置有转动件，转动件的转动端可拆卸连接有放置样品的旋转腔体；表面处理箱内设置有喷出端朝向旋转腔体开口设置的等离子处理器，表面处理箱外设置有抽气泵，抽气泵的抽气口与表面处理箱内连通。通过采用上述设置，具有旋转腔体可安装和旋转，利用等离子处理器产生的等离子体可处理不规则颗粒样品的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种低温旋转型石英等离子表面处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020226847.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-28
授权号 ：
CN211455640U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
蒙煜
申请人 ：
广州善准仪器设备有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市海珠区江南大道南1168至1198号（双号）五层自编5A19
代理机构 ：
广州海石专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邵穗娟
优先权 ：
CN202020226847.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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