本实用新型提供了一种石英表面熏碳装置，该石英表面熏碳装置包括反应承载结构、加热器、第一蒸发瓶、保护气体气瓶和导流组件，所述反应承载结构内部具有容纳腔，用于盛放待熏石英件；所述加热器设置在所述反应承载结构的外部；所述第一蒸发瓶通过所述导流组件分别连通所述容纳腔和保护气体气瓶，并且所述导流组件延伸至所述容纳腔内部，所述导流组件上设有多个排气口，所述待熏石英件位于所述多个排气口的正下方。该石英表面熏碳装置通过设置排气口、加热器与待熏石英舟的相对位置，能定量可控的在较大尺寸的石英舟上熏制一层均匀致密的碳膜，有效隔绝了石英与晶体，高效可控。