一种石英晶片用表面清洗装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种石英晶片用表面清洗装置,涉及晶片清洗技术领域。包括外壳和晶片本体,所述外壳的底部固定安装有四个底柱,所述外壳的一侧固定安装有加压水泵,所述加压水泵的一端延伸进水箱的内部,该石英晶片用表面清洗装置,通过设置喷头和清洗箱,加压水泵将水箱内的的水通过进水管进入喷头,喷头喷出的水呈散射状,完成对晶片本体表面的一重清洗,可以去除晶片本体表面的沉浮污渍,清洗箱内设置有电机,通过清洗箱内的结构带动,连接杆带动清洗棉在晶片本体表面进行往返擦拭清洗,完成对晶片本体表面的二重清洗,传统的清洗装置一般只能进行一次清洗过程,本装置在一定程度上保证了晶片本体表面清洗的清洁度。

基本信息
专利标题 :
一种石英晶片用表面清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020926720.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-28
授权号 :
CN212652269U
授权日 :
2021-03-05
发明人 :
张斌郑宝春郑宝生
申请人 :
浙江蓝晶芯微电子有限公司
申请人地址 :
浙江省金华市兰溪经济开发区江南高新园区致远路85号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020926720.1
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02  B08B1/00  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2021-03-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN212652269U.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332