石英晶片的清洗方法
授权
摘要
本发明涉及石英晶片加工领域,具体公开了一种石英晶片的清洗方法,依次包括以下步骤:将石英晶片通过排片工序安装到镀膜夹具中;将安装好石英晶片的镀膜夹具放入清洗槽中进行清洗;将清洗好的镀膜夹具进行脱水甩干。本发明提出了一种新的清洗方案,先将石英晶片在镀膜夹具上排片好后再清洗,如此能够有效确保在清洗过程中,每片石英晶片具有独立的清洗空间,能够受到全方位的清洗,从而去除石英晶片表面的颗粒杂质、粘附尘埃等杂质,清洗效果优异,有助于提升后续镀膜质量。同时,清洗后的石英晶片也无需从镀膜夹具上拆下来进行转移,可直接进行后续的镀膜步骤,大大简化了工艺的复杂程度,提高了生产效率。
基本信息
专利标题 :
石英晶片的清洗方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109647784A
申请号 :
CN201910085017.4
公开(公告)日 :
2019-04-19
申请日 :
2019-01-29
授权号 :
CN109647784B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
欧阳林欧阳晟韩何明欧阳华
申请人 :
广州晶优电子科技有限公司
申请人地址 :
广东省广州市高新技术产业开发区香山路17号厂房B301
代理机构 :
广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
林伟斌
优先权 :
CN201910085017.4
主分类号 :
B08B3/04
IPC分类号 :
B08B3/04 B08B13/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
法律状态
2022-04-01 :
授权
2019-05-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/04
申请日 : 20190129
申请日 : 20190129
2019-04-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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