本实用新型公开了一种清洗大尺寸石英晶片的清洗装置，包括机体和底座，所述机体的内部开设有空腔，所述空腔连接有机盖，所述机盖下方设有刷盘，所述空腔内固定连接有超声波发射器，所述空腔内连接有液流装置，所述机盖的回转中心贯穿设有主轴，所述主轴上连接有转动装置。本实用新型将主轴的向下按动转化为刷盘的转动，实现对石英晶体表面的初步清理工作，同时通过铜芯和导线，在压电效应的作用下使电磁阀导通电路并通入HF蚀刻液并同时启动超声波发生器，形成射流、声流、微射流和微声流，能够破坏污染物,除去或削弱边界污层,增加搅拌、扩散作用，加速可溶性填充物的溶解和非溶解性微粒的脱落,强化液体的清洗作用，实现三次清洗效果。