一种化学品供液管路装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种化学品供液管路装置，包括过滤前汇合管路、第一支路、第二支路、过滤后汇合管路、第三支路、第四支路、第五支路、第六支路、第七支路、第八支路、第一旁路、第二旁路、第一过滤器、第二过滤器、第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀、第一VMB管路和第二VMB管路；本实用新型的化学品供液管路装置能够消除CMD柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合，可在各支路间灵活切换。

基本信息

专利标题：

一种化学品供液管路装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020242393.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-02

授权号：

CN212408284U

授权日：

2021-01-26

发明人：

周礼誉

申请人：

上海兄弟微电子技术有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区浦三路3699、3721号1幢3楼

代理机构：

上海昱泽专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

孟波

优先权：

CN202020242393.8

主分类号：

F17D1/08

IPC分类号：

F17D1/08 F17D3/01