供液装置

授权

摘要

该实用新型涉及供液装置，能够提升液体化学品在传输过程中的流量测量准确度，提升传输的稳定性，提升使用效果。为解决上述技术问题，以下提供了一种供液装置，包括：供液箱，用于提供待运送的液体化学品；供液管路，用于连通所述供液箱以及目标机台，以将所述供液箱内的液体化学品运输到所述目标机台；排泡管路，一端连通至所述供液管路，另一端用于连通至外界，以排出所述供液管路内运输的液体化学品内的气泡。

基本信息

专利标题：

供液装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021263660.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-30

授权号：

CN212960913U

授权日：

2021-04-13

发明人：

熊佳瑜陈浩杨玉辉李绪熊泰贻

申请人：

长江存储科技有限责任公司

申请人地址：

湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

孙佳胤

优先权：

CN202021263660.6

主分类号：

F17D1/14

IPC分类号：

F17D1/14 F17D3/00 F17D3/01