供液装置

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摘要

本实用新型涉及一种供液装置。包括：浮子液位传感器、第二液位传感器、控制装置、供液开关、液体暂存装置，浮子液位传感器在检测到液体暂存装置内的液体到达第一液面时向控制装置发送第一信号；第二液位传感器在检测到液体暂存装置内的液体到达第二液面时向控制装置发送第二信号；控制装置在接收到第一信号或第二信号时向供液开关发送关闭信号，控制供液开关关闭，第二液位传感器和浮子液位传感器检测液位的方式不同。通过两种不同类型的液位传感器一同检测液体暂存装置内的液位，实现了对液位的双重监测，从而在任一液位传感器失效时仍准确检测液位，提高了对补液量的精度控制，避免了因补液过量而导致的液体溢出等问题。

基本信息

专利标题：

供液装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921905734.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-06

授权号：

CN210953023U

授权日：

2020-07-07

发明人：

李青桦陈国勇

申请人：

中芯集成电路制造（绍兴）有限公司

申请人地址：

浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

虞凌霄

优先权：

CN201921905734.9

主分类号：

G01F23/30

IPC分类号：

G01F23/30 G01F23/292