一种气悬浮运输装置
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摘要
一种气悬浮运输装置，涉及运输装置领域，包括载板，载板顶面等间距设置出气机构，载板内部设向出气机构供气的供气管路；出气机构包括凹盘，凹盘被侧挡板分为相同构造的两侧，侧挡板顶端水平固定有压气板，在侧挡板两侧的压气板底面均设有导气槽，导气槽顶面为一半圆平面、侧面为向外倾斜的平直面；供气管路包括第一进气口、第二进气口，第一进气口通过第一总管连通第一支管，第一支管均分布于侧挡板同一侧的凹盘下方；第二进气口通过第二总管连通第二支管，第二支管均分布于侧挡板另一侧的凹盘下方；第一支管、第二支管分别通过通气管向上排气，通气管分别正对着相应一侧的导气槽。本申请提供一种气悬浮运输装置，能实现硅片等气悬浮的传输效果。
基本信息
专利标题 ：
一种气悬浮运输装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020252363.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-04
授权号 ：
CN211712105U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
尉世卓
申请人 ：
上海睿范自动化设备有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区南汇新城镇芦潮港路1560号404室
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
李青
优先权 ：
CN202020252363.5
主分类号 ：
B65G54/00
IPC分类号 ：
B65G54/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G54/00
其他类目不包括的非机械式输送机
法律状态
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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