本实用新型公开了一种应用于半导体设备的液体管路侦测装置，其包括：管路本体，设置在半导体设备中，管路本体包括沿液体流向依次设置的第一管路本体和第二管路本体，第一管路本体和第二管路本体经电磁阀相连通或断开；压力开关，设置在第二管路本体上；PLC控制单元，用于采集电磁阀的启停信号及压力开关的压力信号；应急清洁管道，一端与第一管路本体相连通，应急清洁管道的另一端与三通阀的入口相连通，三通阀的第一出口与第二管路本体相连通，三通阀的第二出口与排污管相连通，其中，应急清洁管道上设有第一手动开关阀，排污管上设有第二手动开关阀。本实用新型能使故障被快速准确地检测出来，还能提高第二管路本体的清洁度和使用寿命。