一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统，半导体设备机台内设有气缸，气缸包括缸体和活塞杆，系统包括：感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，感应片固定在活塞杆的顶部侧壁上，感应器安装在安装支架上，安装支架经位置调节机构与缸体的顶部端面相连接；报警单元，安装在半导体设备机台上；控制器，分别与气缸和感应器相连接，控制器还经常闭继电器与报警单元相连接。本实用新型能准确高效地侦测气缸的实际动作的作用；并且，避免了感应器存在故障或一直保持同一状态导致的失效风险；同时，当侦测系统断电或者程序故障，常闭继电器会断开，使报警单元立刻发出警报，从而有效地提高了保护效果。

基本信息

专利标题：

一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020458014.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-01

授权号：

CN212003813U

授权日：

2020-11-24

发明人：

彭代全

申请人：

上海裕诗实业有限公司

申请人地址：

上海市松江区新松江路1800弄3号

代理机构：

上海伯瑞杰知识产权代理有限公司

代理人：

王一琦

优先权：

CN202020458014.9

主分类号：

F15B19/00

IPC分类号：

F15B19/00 F15B20/00 H01L21/67