本公开涉及晶圆测试技术领域，尤其涉及一种晶圆测试机台的侦测方法和侦测装置。该侦测方法包括：将多个晶圆测试机台测试到的原始测试数据存储到数据库中；根据预设筛选条件从原始测试数据中筛选出目标测试数据；对筛选出的目标测试数据进行统计，以区分出多个晶圆测试机台中的对照机台和待检机台；比较在第一预定天数内各个待检机台在对应的测试项目下的目标测试数据和对照机台在相同的测试项目下的目标测试数据是否具有显著性差异，并统计出各个待检机台具有显著性差异的天数；根据统计出的各个待检机台具有显著性差异的天数对各个待检机台进行标记。该侦测方法能够自动完成测试机台的侦测，缩短了侦测过程的耗时，也提高了侦测结果的准确性。