PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置

授权

摘要

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体公开了一种PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，第一电极与第二电极的沿延伸方向呈夹角设置；通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个静触端均与射频电极片连接，且两个动触端分别与第一电极和第二电极连接，驱动件驱动动触端在第一位置和第二位置之间切换，可实现动触端与静触端连接或分离，因此通过对两个通断控制组件的动触端与静触端进行控制，无需拆装，即可使射频电极片与不同延伸方向第一电极或第二电极的单独连通，可有效提高工作效率。

基本信息

专利标题：

PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020276976.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-09

授权号：

CN211897108U

授权日：

2020-11-10

发明人：

邓必龙郑利勇

申请人：

龙鳞（深圳）新材料科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市坪山区坪山街道六联社区坪山大道2007号创新广场裙楼202

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN202020276976.2

主分类号：

C23C16/505

IPC分类号：

C23C16/505