一种超高真空旋转馈入装置
授权
摘要

本实用新型提供了一种超高真空旋转馈入装置,用于解决现有技术中旋转馈入装置有效通径小、承重能力差、密封圈容易损坏、密封性差的技术问题,包括:电机、电机支架、联轴器、固定架、交叉滚子轴承、蜗杆、蜗轮、上法兰和下法兰;固定架包括轴承外圈盖板、蜗杆支架和蜗杆固定件;上法兰包括内圈固定端和延长端,下法兰包括外圈固定端和密封端;实施本实用新型的技术方案,使用蜗杆和蜗轮作为主传动机构,装置结构简单;密封圈设置在下法兰内侧,避免直接承受压力,可延长密封圈的寿命;设置交叉滚子轴承,降低装置工作过程中产生的晃动,提高装置的控制精度;设置多条密封圈并设置差分抽气法兰,装置可适用超高真空腔体。

基本信息
专利标题 :
一种超高真空旋转馈入装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920869832.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-11
授权号 :
CN210290674U
授权日 :
2020-04-10
发明人 :
谢斌平郭云飞
申请人 :
费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区3号楼
代理机构 :
上海精晟知识产权代理有限公司
代理人 :
冯子玲
优先权 :
CN201920869832.5
主分类号 :
F16H57/021
IPC分类号 :
F16H57/021  F16H57/023  F16H57/025  F16H57/029  F16H57/039  H02K7/116  H02K5/173  G01B5/24  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16H
传动装置
F16H
传动装置
F16H57/00
传动装置的一般零件
F16H57/02
传动箱;在其中安装传动装置
F16H57/021
轴支撑结构,例如分隔壁、轴承眼、壳体壁或带轴承的盖
法律状态
2020-04-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332