一种高真空动密封复合运动馈入装置
授权
摘要
本实用新型属于真空动密封技术领域，具体为一种高真空动密封复合运动馈入装置。本装置主要包括磁流体、波纹管组件、导轨滑块组件及支撑部分。导轨组件设于磁流体与波纹管组件外侧，磁流体密封设于波纹管组件顶部，真空法兰接口设于波纹管组件底部一侧。磁流体输入轴与外部旋转电机连接，旋转电机工作驱动磁流体密封实现旋转运动馈入真空；通过外部驱动电机驱动滑块在导轨上实现直线往复运动，滑块与波纹管组件固定连接实现直线运动的馈入。波纹管组件顶部连接法兰与磁流体密封法兰密封连接，底部法兰与真空接口法兰密封连接，密封均采用无氧铜密封圈进行密封，确保了装置工作时真空度的条件下，可将直线+旋转的复合运动馈入真空系统内部。
基本信息
专利标题 ：
一种高真空动密封复合运动馈入装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921761332.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-21
授权号 ：
CN210600185U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
李赟
申请人 ：
西安中科英威特光电技术有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区细柳街办新型工业园西部大道60号11号楼315室
代理机构 ：
北京棘龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
戴丽伟
优先权 ：
CN201921761332.6
主分类号 ：
F16J15/43
IPC分类号 ：
F16J15/43 F16J15/54 F16J15/16
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16J
活塞；缸；一般压力容器；密封
F16J
活塞；缸；一般压力容器；密封
F16J15/00
密封
F16J15/16
在相对运动的表面之间
F16J15/40
用流体
F16J15/43
靠磁力保持在密封位置
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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