本实用新型属于微电子设备技术领域，具体公开了一种微电子工艺综合实验装置，包括安装底板、实验装置本体、螺纹筒、螺纹钉、齿轮柱和安装箱，所述安装底板上固定有实验装置本体、安装底板的四个拐角处开设有固定孔，固定孔内固定有螺纹筒，所述安装底板上位于螺纹筒的一侧开设有旋转孔，旋转孔的内壁开设有环形滑槽，所述旋转孔内设置有转轴，转轴的侧面固定有转动环，转动环与环形滑槽滑动连接，所述转轴的顶端固定有齿轮柱，转轴的底端固定有第一同步轮；所述安装底板的底部固定有安装箱，安装箱的底部四个拐角处固定有脚轮，所述安装箱的两侧开设有对称的通孔，所述安装箱的内侧顶部固定有安装电机。