本实用新型公开了一种微电子工艺教学套件，包括微电子工艺实验控制箱，在控制箱内设置有控制电路板，控制电路板上设置含有微处理器的工艺实验控制电路，在控制箱正面设置有与控制电路连接的液晶显示屏和控制键盘，在控制箱侧面设置有与控制电路连接的测试接口，所述测试接口有多个，多个测试接口通过接口缆线分别连接有二极管器件测试板卡、三极管器件测试板卡、MOSFET器件测试板卡、LDMOS器件测试板卡和GaN器件测试板卡。本实用新型能够以按键和液晶显示屏结合的方式，给学生提供模拟真实半导体工艺设备操作的交互界面。操作简单，直观；学生可以更加通俗易懂的通过工艺设备的仿真操作，去理解和掌握半导体工艺的基本原理和关键技术。