微电子机械装置
专利权的终止
摘要

披露了一种微电子机械装置。该微电子机械装置包括:第一部件,其限定平面;梁,其包括悬挂在所述第一部件上方的至少一个非晶硅层,其中所述梁在垂直于所限定的平面方向上的尺寸是所述梁在所限定的平面内的至少一个尺寸的至少1.4倍。

基本信息
专利标题 :
微电子机械装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN102060258A
申请号 :
CN201010568507.9
公开(公告)日 :
2011-05-18
申请日 :
2006-02-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
N·W·哈古德J·L·斯泰恩T·T·布罗斯尼汉J·甘德希J·J·菲乔R·S·佩恩R·巴顿
申请人 :
皮克斯特罗尼克斯公司
申请人地址 :
美国马萨诸塞州
代理机构 :
北京北翔知识产权代理有限公司
代理人 :
杨勇
优先权 :
CN201010568507.9
主分类号 :
B81B3/00
IPC分类号 :
B81B3/00  B81B7/04  G02B26/08  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统,例如微观机械装置
B81B3/00
由柔性或可变形的元件组成的装置,例如由弹性舌或膜片组成
法律状态
2020-02-11 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B81B 3/00
申请日 : 20060223
授权公告日 : 20130710
终止日期 : 20190223
2017-02-01 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101745908689
IPC(主分类) : B81B 3/00
专利号 : ZL2010105685079
登记生效日 : 20170110
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 皮克斯特隆尼斯有限公司
变更后权利人 : 追踪有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国加利福尼亚州
变更后权利人 : 美国加利福尼亚州
2013-08-28 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101655456395
IPC(主分类) : B81B 3/00
专利号 : ZL2010105685079
变更事项 : 专利权人
变更前 : 皮克斯特隆尼斯有限公司
变更后 : 皮克斯特隆尼斯有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国马萨诸塞州
变更后 : 美国加利福尼亚州
2013-07-10 :
授权
2013-07-03 :
著录事项变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101623831201
IPC(主分类) : B81B 3/00
专利申请号 : 2010105685079
变更事项 : 申请人
变更前 : 皮克斯特罗尼克斯公司
变更后 : 皮克斯特隆尼斯有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国马萨诸塞州
变更后 : 美国马萨诸塞州
2011-07-20 :
实质审查的生效
号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101088114231
IPC(主分类) : B81B 3/00
专利申请号 : 2010105685079
申请日 : 20060223
2011-05-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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