本实用新型实施例公开了一种碳化硅瑕疵检测设备，属于半导体检测技术领域，其技术方案如下，包括支撑架，所述支撑架上设置有载物台与成像装置，成像装置位于载物台上方，所述载物台上设置有通孔，所述支撑架位于成像装置与载物台之间的位置设置有照向载物台的第一光源，所述支撑架位于载物台下方的位置设置有照向载物台透射光源；所述支撑架位于透射光源的下方的位置还设置有照向载物台的偏振光源，所述支撑架位于成像装置下方的位置设置有验偏器，所述验偏器可转动并脱离成像装置的正下方，以解决现有技术中由于利用肉眼直接观测该碳化硅衬底片是否存在瑕疵，检测相对比较费力，且不够准确的问题。