集成式计量系统

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本申请公开了一种用于评估半导体晶圆的集成式计量系统，其包括：主体，具有后侧部和前侧部，前侧部限定主体的前边界；键盘，能移动地耦接到主体；其中，键盘被构造成在多个位置之间移动，多个位置包括第一位置和第二位置；其中，当定位在第一位置处时，键盘延伸到前边界的外部一第一距离，并且其中，当定位在第二位置处时，键盘不延伸到位于与前边界相距高达第二距离的假想线之外，其中，第二距离小于第一距离。本申请的集成式计量系统是紧凑的、易于维修并能执行高度精确的计量处理。

基本信息

专利标题：

集成式计量系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020329015.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-16

授权号：

CN211670177U

授权日：

2020-10-13

发明人：

亚历克斯·希施曼贝尼·舒尔曼艾戈尔·施瓦茨曼

申请人：

诺威量测设备股份有限公司

申请人地址：

以色列雷霍沃特

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

刘凤迪

优先权：

CN202020329015.3

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67