集成式计量系统

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摘要

本申请公开了一种用于评估半导体晶圆的集成式计量系统，其包括：主体，该主体可具有后侧部和前侧部，前侧部限定主体的前边界；一个或多个可拆卸支撑单元，该可拆卸支撑单元能拆卸地耦接到主体并且在延伸到前边界的外部的同时支撑主体；以及至少一个辅助支撑单元，该辅助支撑单元被构造成在没有一个或多个可拆卸支撑单元的情况下支撑主体。本申请的集成式计量系统是紧凑的、易于维修并能执行高度精确的计量处理。

基本信息

专利标题：

集成式计量系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020329454.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-16

授权号：

CN211955733U

授权日：

2020-11-17

发明人：

亚历克斯·希施曼贝尼·舒尔曼艾戈尔·施瓦茨曼

申请人：

诺威量测设备股份有限公司

申请人地址：

以色列雷霍沃特

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

刘凤迪

优先权：

CN202020329454.4

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28 G01R31/26