集成式计量系统
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本申请公开了一种用于评估半导体晶圆的集成式计量系统，其包括主体，主体包括光学头部和光源；其中，光源定位在主体的下部分处，并且其中，光学头部定位在主体的上部分处，并且其中，光学头部经由光学路径光学地耦接到光源，光学路径包括光学线缆。本申请的集成式计量系统是紧凑的、易于维修并能执行高度精确的计量处理。
基本信息
专利标题 ：
集成式计量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020329249.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-16
授权号 ：
CN211928102U
授权日 ：
2020-11-13
发明人 ：
亚历克斯·希施曼贝尼·舒尔曼艾戈尔·施瓦茨曼
申请人 ：
诺威量测设备股份有限公司
申请人地址 ：
以色列雷霍沃特
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘凤迪
优先权 ：
CN202020329249.8
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28 G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2021-12-21 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01R 31/28
变更事项 : 专利权人
变更前 : 诺威量测设备股份有限公司
变更后 : 诺威有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 以色列雷霍沃特
变更后 : 以色列雷霍沃特
变更事项 : 专利权人
变更前 : 诺威量测设备股份有限公司
变更后 : 诺威有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 以色列雷霍沃特
变更后 : 以色列雷霍沃特
2020-11-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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