基于气体质量流量控制的二次动态配气装置及系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种基于气体质量流量控制的二次动态配气装置及系统，应用于配气技术领域，其中，基于气体质量流量控制的二次动态配气装置包括：稀释气体储气罐、被稀释气体储气罐、初级配气罐和二级配气罐，其中，所述稀释气体储气罐的出气口通过第一输气管路连接所述初级配气罐的第一进气口，通过第二输气管路连接所述二级配气罐的第一进气口；所述被稀释气体储气罐的出气口通过第三输气管路连接所述初级配气罐的第二进气口；所述初级配气罐的第一出气口通过第四输气管路连接所述二级配气罐第二进气口；所述初级配气罐内还设置有压力监测单元；所述第一输气管路、所述第二输气管路、所述第三输气管路、所述第四输气管路上均设置有气体控制单元。
基本信息
专利标题 ：
基于气体质量流量控制的二次动态配气装置及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020355886.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-19
授权号 ：
CN211913378U
授权日 ：
2020-11-13
发明人 ：
马弢牛晓张福林杨健
申请人 ：
北京晓韬科技有限公司
申请人地址 ：
北京市通州区胡家垡村甲8号院9号楼13层1330室
代理机构 ：
北京细软智谷知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
张雄
优先权 ：
CN202020355886.2
主分类号 ：
B01F3/02
IPC分类号 ：
B01F3/02 B01F15/04 B01F15/00 G05D7/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合，例如，溶解、乳化、分散
B01F3/00
混合，例如，按被混合的相来分散，乳化
B01F3/02
气体与气体或蒸气
法律状态
2020-11-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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