本实用新型涉及一种高效减震全自动晶圆研磨机，包括研磨机本体，研磨机本体下侧设有基座，基座上端开凿有第一容纳槽，第一容纳槽内滑动连接有纵向减震座，纵向减震座下端和第一容纳槽下内壁之间固定连接有多个均匀分布的纵向缓冲弹簧，第一容纳槽内设有多个竖向消能块，且多个竖向消能块均匀分布于纵向减震座外侧，基座外端螺纹连接有多个第一螺栓，且第一螺栓延伸至第一容纳槽内并与其对应位置的竖向消能块转动连接，可以实现在研磨机本体工作过程中，对研磨机本体起到缓冲减震的作用，有效避免研磨机本体与基座之间产生高频率的震动碰撞，从而有效保障研磨机本体的使用寿命和研磨质量，进而有效保障晶圆研磨的合格率。