一种全自动研磨机
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型涉及研磨技术领域,具体涉及一种全自动研磨机。包括:底座、电控箱组件和研磨总成,所述电控箱组件和所述研磨总成均设置在所述底座上,其特征在于,所述研磨总成包括:用以固定工件的转盘组件、气悬浮垫盘、转运组件、打磨组件、刷洗盘组件和检测组件,所述转盘组件设置在底座上,所述转盘组件上具有装卸工位、粗加工工位和精加工工位,所述气悬浮垫盘设置在转盘组件与底座之间,所述转盘组件与驱动电机传动连接,所述驱动电机通过升降组件与底座固定连接。本实用新型通过采用研磨和测厚同时进行,缩短检测时间提升加工效率,通过设置气悬浮垫盘配合定位组件能够将转盘进行转动使得转台实现精准定位进行加工。

基本信息
专利标题 :
一种全自动研磨机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920988379.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-28
授权号 :
CN210189373U
授权日 :
2020-03-27
发明人 :
胡敬祥高盼盼黄郁声
申请人 :
深圳方达半导体装备有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市光明新区公明街道塘尾村宝塘高新科技工业园1栋1-2楼整层
代理机构 :
深圳市查策知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曾令安
优先权 :
CN201920988379.X
主分类号 :
B24B27/00
IPC分类号 :
B24B27/00  B24B55/06  B24B41/00  B24B37/10  B24B37/30  B24B37/34  B24B37/013  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B27/00
其他磨床或装置
法律状态
2021-04-13 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B24B 27/00
登记生效日 : 20210331
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳方达半导体装备有限公司
变更后权利人 : 深圳市梦启半导体装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518106 广东省深圳市光明新区公明街道塘尾村宝塘高新科技工业园1栋1-2楼整层
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市光明区公明街道上村社区元山工业区B区第34栋201
2020-03-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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