本实用新型涉及一种氮化镓生长炉进气端法兰结构，属于氮化镓工业生产设备技术领域。所述法兰结构包括炉体进气端依次连接的固定法兰、炉胆法兰和进气法兰盖，相邻二者之间设有O型密封圈，所述炉胆法兰与固定法兰之间通过多个对称分布的螺栓连接，所述炉胆法兰连接氮化镓生长炉的炉胆，所述进气法兰通过卡钩扣合在炉胆法兰上，所述固定法兰、炉胆法兰和进气法兰盖的内部分别设有贯穿的孔道，所述孔道的两端在各自的侧面露出两个孔道口，所述孔道口上焊接有水管接头。本实用新型专利设计的生长炉法兰结构，通过在法兰和法兰盖中设置孔道，并对孔道接通循环冷却水，有效降低法兰和法兰盖的温度，有效保护彼此之间的橡胶密封圈。