一种多通道晶圆体清洗槽
授权
摘要
本实用新型公开了一种多通道晶圆体清洗槽，包括清洗槽、转动轴和中空腔，所述清洗槽的一侧通过安装板安装有超声波发生器，所述清洗槽的壳体内设置有中空腔，且中空腔内通过螺栓安装有保温棉，所述清洗槽内表层设置有防腐固化层，所述清洗槽内壁一侧嵌设有一号轴承，所述清洗槽内壁另一侧嵌设有轴套，所述一号轴承和轴套之间设置有转动轴，所述转动轴的底部通过螺栓安装有支撑杆，所述支撑杆的底部焊接有夹具，所述夹具内设置有橡胶压块，所述橡胶压块一侧嵌设有二号轴承。该新型多通道晶圆体清洗槽功能多样，操作简单，便于生产，满足了使用中的多种需求，适合广泛推广使用。
基本信息
专利标题 ：
一种多通道晶圆体清洗槽
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020375691.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-23
授权号 ：
CN212168369U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
梁树海林国梁
申请人 ：
厦门健康伦自动仪器有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市海沧区翁角西路2054号3号楼第1层02单元南侧之一单元
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020375691.4
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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