一种晶圆体的清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆体的清洗装置，包括工作箱、清洗池、分水管和风管，所述工作箱顶部一端通过螺栓镶嵌安装有清洗池，所述清洗池内设圆盘，所述圆盘内开设有圆槽，所述清洗池内一端拐角处设有第一转杆，所述清洗池内另一端拐角处设有第二转杆，所述第二转杆一侧焊设有分水管，所述分水管另一侧焊设有风管，所述分水管底部出水端排布安装有雾化喷头，所述风管底部开设有出风口，所述第一转杆一端套设安装有海绵刷套，所述工作箱顶部另一端通过螺栓嵌设安装有水泵。整体装置良好的完成一体化的冲洗、刷式和烘干工作，大大提高晶圆加工效率的高效性和便捷性。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆体的清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020375723.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-23
授权号 ：
CN212168299U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
梁树海林国梁
申请人 ：
厦门健康伦自动仪器有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市海沧区翁角西路2054号3号楼第1层02单元南侧之一单元
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020375723.0
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B1/04 B08B13/00 F26B21/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
