一种电加热密封结构
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摘要
本实用新型属于原子层沉积设备领域，具体是一种电加热密封结构，包括内部开设有内腔的接管，以及还包括贯穿在内腔内部的电加热丝；在所述接管一端连接有法兰Ⅰ，而法兰Ⅰ上通过固定件安装有法兰Ⅱ；其中，在法兰Ⅰ和法兰Ⅱ之间的所述电加热丝上套设有垫片Ⅰ和垫片Ⅱ；在远离所述法兰Ⅰ一侧的法兰Ⅱ上加装有螺母；在实际应用中，内腔是要保证电加热丝的真空度，接管一端焊接法兰Ⅰ上，法兰Ⅱ用固定件与法兰Ⅰ固定，中间用垫片Ⅰ密封，贯穿在内腔内部的电加热丝，和法兰Ⅱ中间用垫片Ⅱ密封，在下端用螺母拉紧，进而保证密封性；进而将电加热接头放在了腔体外面，脱离高温环境，解决了密封胶熔化导致电加热丝短路的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种电加热密封结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020397216.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-25
授权号 ：
CN211267131U
授权日 ：
2020-08-14
发明人 ：
郑锦
申请人 ：
南京原磊纳米材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢305
代理机构 ：
北京专赢专利代理有限公司
代理人 ：
刘梅
优先权 ：
CN202020397216.7
主分类号 ：
H05B3/54
IPC分类号 ：
H05B3/54 H05B3/04
法律状态
2020-08-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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