一种顶针组件及顶针支撑装置
授权
摘要

本实用新型提供一种顶针组件及顶针支撑装置。顶针组件包括定位件、导向件、顶针和除尘活塞,顶针穿设在导向件内,并与导向件一同设在定位件内;顶针可在定位件的腔体内沿着垂直于基板的方向上往复移动;除尘活塞套设在顶针上,并与在腔体的内壁贴合;除尘活塞将腔体的内部分隔成两个腔室,且除尘活塞设有用于连通两个腔室的气流通道。除尘活塞用于在顶针移动的过程中,驱使粉尘向背离基板的方向移动。本实用新型能够解决顶针的发尘问题,有助于提升产品的良率以及设备的稼动率和产能。

基本信息
专利标题 :
一种顶针组件及顶针支撑装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020401447.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-26
授权号 :
CN211506168U
授权日 :
2020-09-15
发明人 :
黄学勇蒋雷段乐乐邵博谢超慕绍帅
申请人 :
成都中电熊猫显示科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号
代理机构 :
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 :
牛芬洁
优先权 :
CN202020401447.0
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-09-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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