一种用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置
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摘要
一种用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置,夹头本体从上往下呈圆柱状结构，底端部位设为锥形结构；所述夹头本体沿轴向中心部位开设有通孔，从上往下依次为重锤安装孔、籽晶安装孔和籽晶定位孔；所述夹头本体沿籽晶安装孔和籽晶定位孔位置开设有贯通外壁的籽晶安装口；所述夹头本体沿外壁上下位置分别开设有贯通籽晶安装孔的拉晶观察孔和透气孔；所述夹头本体沿外壁水平方向开设有贯通籽晶定位孔的籽晶固定孔；所述夹头本体沿外壁两侧对称设置有夹持口。益效果在于：安装和拆卸大小头锥形籽晶的过程中不需要取下石墨夹头，直接通过夹头侧方的籽晶安装口即可拆卸安装籽晶，减少了重锤及夹头的拆卸磨损，对生产而言，简化了籽晶加料步骤，降低了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020408190.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-26
授权号 ：
CN211921745U
授权日 ：
2020-11-13
发明人 ：
陈娟王思远周小渊柯小龙马占东周志鹏苏波董长海
申请人 ：
宁夏中晶半导体材料有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区中卫市中宁新堡镇团结南路
代理机构 ：
银川长征知识产权代理事务所
代理人 ：
马长增
优先权 ：
CN202020408190.1
主分类号 ：
C30B15/32
IPC分类号 ：
C30B15/32 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
C30B15/32
籽晶夹持器，例如籽晶夹头
法律状态
2020-11-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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