真空泵和节能装置

授权

摘要

本实用新型公开一种节能装置，应用于一排气管和一真空泵的一真空泵出气端，节能装置包括一主体、一阀门和一真空产生器。主体包括一主体进气端、一主体出气端、一第一腔体和一第二腔体。主体进气端连通真空泵出气端。主体出气端连通该排气管。第一腔体连通主体进气端。第二腔体连通主体出气端和第一腔体。阀门位于第二腔体，并用以使第一腔体和第二腔体之间的连通关系封闭或开放。真空产生器包括一真空产生器进气端、一真空产生器出气端和一气流调整件。真空产生器进气端连通第一腔体。真空产生器出气端连通第二腔体。气流调整件连通第一腔体和第二腔体。

基本信息

专利标题：

真空泵和节能装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020419196.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-27

授权号：

CN212130916U

授权日：

2020-12-11

发明人：

顾崇诚

申请人：

信强(宁波)半导体设备制造有限公司

申请人地址：

浙江省宁波市余姚市欣朗路128号

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

骆希聪

优先权：

CN202020419196.9

主分类号：

F04F5/20

IPC分类号：

F04F5/20 F04F5/44 F04F5/52 F16K31/12