真空泵和旋转驱动结构
授权
摘要
本实用新型公开一种旋转驱动结构应用于一真空泵，真空泵包括二个转子。旋转驱动结构包括一槽体、多个磁性柱、二个磁性旋转柱和多个电磁线圈。槽体包括多个内侧壁面，多个内侧壁面呈现为平坦的表面。二个磁性旋转柱位于槽体内并分别与两转子枢接。各磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边，其中各磁性柱分散设置并与槽体的多个内侧壁面以第一连接端连接，且第二连接端环绕两磁性旋转柱。各电磁线圈系分散设各第一侧边及各第二侧边并紧靠槽体。
基本信息
专利标题 ：
真空泵和旋转驱动结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020419885.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-27
授权号 ：
CN211791197U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
顾崇诚
申请人 ：
信强(宁波)半导体设备制造有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市欣朗路128号
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
骆希聪
优先权 ：
CN202020419885.X
主分类号 ：
H02K16/02
IPC分类号 ：
H02K16/02 H02K7/14 F04C23/02 F04C25/02 F04C18/12
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
