自动匀胶系统以及传输定位装置
专利权的终止
摘要
本申请公开了自动匀胶系统以及传输定位装置。传输定位装置包括：用于承载基片的传送单元；驱动机构，包括：用于带动传送单元沿传送方向移动的传送带和用于驱动传送带的电机组件，传送带在传送方向上具有相对的起始端和终止端，终止端设置有用于固定基片的转盘；用于检测基片的中心与转盘的中心相重合并发出到位信号的第一检测单元；用于固定转盘与基片的固定机构；中央控制器，中央控制器在接收到第一检测单元发出的到位信号后，能启动固定机构并停止驱动机构，基片固定在转盘上。本申请能够实现基片的自动定位以及精确定位，提高成膜质量。
基本信息
专利标题 ：
自动匀胶系统以及传输定位装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020496431.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-08
授权号 ：
CN211929441U
授权日 ：
2020-11-13
发明人 ：
魏学良曹旭东张瑞吴祖豪刘伟
申请人 ：
中国石油大学(北京)
申请人地址 ：
北京市昌平区府学路18号
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈烨
优先权 ：
CN202020496431.2
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/68 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-03-18 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20200408
授权公告日 : 20201113
终止日期 : 20210408
申请日 : 20200408
授权公告日 : 20201113
终止日期 : 20210408
2020-11-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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