一种带定位的硅片传输装置和传输系统

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摘要

本实用新型公开了一种带定位的硅片传输装置和传输系统，包括二次定位机构和对称设置的传输带，所述传输带上对称设置有若干定位部件，且同一所述传输带上的所述定位部件等距分布；所述定位部件包括与硅片的边角匹配的导向部和分割筋，所述定位部件位于所述分割筋的两侧形成对称设置的所述导向部；位于两所述传输带间的所述二次定位机构包括推板和若干导向块，全部的所述导向块固定在所述推板的上表面，所述导向块和所述定位部件对应分布；所述导向块的上表面设置有定位筋，且所述定位筋和与其对应的所述分割筋共线，所述推板能够带动所述导向块向上运动，以将所述定位筋插设进相邻的所述硅片间。其能够提高硅片放置在传输带上的位置精度。

基本信息

专利标题：

一种带定位的硅片传输装置和传输系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921217426.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-30

授权号：

CN210123724U

授权日：

2020-03-03

发明人：

张学强戴军张建伟罗银兵刘三利祝志强

申请人：

罗博特科智能科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

查杰

优先权：

CN201921217426.7

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/68