一种硅片传输装置

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摘要

本实用新型涉及太阳能电池加工设备技术领域，尤其涉及一种硅片传输装置。该硅片传输装置包括下运输机构，用于将硅片逐片运送至指定位置；及上运输机构，设置于所述指定位置的上方，所述上运输机构被配置为能逐片将所述指定位置处的硅片吸起，并移动至目标位置的上方后解除吸附。该硅片传输装置中，上运输机构通过吸附将指定位置的硅片吸起并移动至目标位置的上方后松开硅片，通过下运输机构和上运输机构的重复工作，可以实现硅片在目标位置的堆叠，且堆叠过程中相邻两张硅片之间不会相互摩擦，从而避免因硅片磨损而导致的硅落和崩边等现象；上运输机构通过吸附的方式移动硅片，硅片位置更稳定，避免因硅片抖动严重而导致堵片。

基本信息

专利标题：

一种硅片传输装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921554345.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-18

授权号：

CN210325738U

授权日：

2020-04-14

发明人：

曹为龙张建峰朱元王森

申请人：

盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请人地址：

江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN201921554345.6

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/683