一种硅片传输机构

授权

摘要

本申请提供了一种硅片传输机构，所述的硅片传输机构包括一底座、分别安装在所述的底座的前后两端的第一安装座和第二安装座、传输电机、用于安装传输电机的电机安装座，所述的电机安装座固定安装在所述的底座上,所述的第一安装座和第二安装座安装有多个带轮，带轮上饶有用于传输硅片的传送带，多个带轮中的其中一个带轮被所述的传输电机驱动。本申请的一种硅片传输机构，通过传输电机驱动带轮的转动，从而带动传送带的运行，传送带向前运输硅片，本申请的传送带的绕行设计，能够适应移动座的前后移动，传送带始终处于张紧状态。使硅片的传输更加快捷方便。

基本信息

专利标题：

一种硅片传输机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921555855.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-18

授权号：

CN210640205U

授权日：

2020-05-29

发明人：

张学强戴军张建伟罗银兵李圣鹤

申请人：

罗博特科智能科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

查杰

优先权：

CN201921555855.5

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677