一种掏片式硅片传输机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种掏片式硅片传输机构，包括夹持组件和传输组件，传输组件为直线电机，夹持组件通过安装板连接于直线电机的动子座上，夹持组件包括若干吸力臂，吸力臂包括真空腔体、盖板和抽气接头，真空腔体一端与安装板固定连接，真空腔体另一端设置有一面开口的真空腔，盖板水平密封真空腔，盖板上设置有连通真空腔的气孔，抽气接头设置于真空腔体下方且连通真空腔，方便从其他机构拾取硅片，硅片表面未全部放置于夹持组件上，接触面积小，减小出现不良影响的概率，结构简单，运行速度快且平稳。
基本信息
专利标题 ：
一种掏片式硅片传输机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920794911.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-29
授权号 ：
CN209691778U
授权日 ：
2019-11-26
发明人 ：
张学强戴军张建伟罗银兵
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
冯瑞
优先权 ：
CN201920794911.4
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/677 H01L21/683
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法律状态
2019-11-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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