一种硅片传输机构及插片机
授权
摘要
本实用新型提供了一种硅片传输机构及插片机，所述硅片传输机构包括：支撑座以及设置于支撑座的传动组件，传动组件用于沿第一方向传输硅片，传动组件包括多个传动单元，每个传动单元均包括一个沿第一方向设置的传送件，多个传送件在第二方向上间隔分布，硅片在多个传送件上传输，多个间隔分布的传送件，可以将硅片支撑起来，减小薄片化的硅片在液体的作用下，发生弯曲变形的概率，减少硅片薄片化后被表面覆盖的水膜压碎或者发生隐裂的风险，也可以避免硅片直接与支撑座接触，便于空气进入硅片和支撑座之间的缝隙，减少了硅片入篮时卡片的概率，提高了硅片入篮的成功率。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片传输机构及插片机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921804400.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-24
授权号 ：
CN211045398U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
张强
申请人 ：
隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市长安区航天中路388号
代理机构 ：
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
莎日娜
优先权 ：
CN201921804400.2
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/673
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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