一种硅片插片入篮机构

授权

摘要

本实用新型提供了一种硅片插片入篮机构，用于硅片传输组件传输的硅片插入片篮盒，包括垂直升降模块、夹紧组件、片篮盒、缓冲组件；所述夹紧组件安装在垂直升降模块的滑块上，所述片篮盒与夹紧组件为可拆卸连接，所述片篮盒内设有多个置片凹槽；所述片篮盒一侧开有硅片入口，远离硅片入口的一侧安装有缓冲组件。本实用新型所述的片篮盒固定在夹紧组件上，夹紧组件在垂直升降模块上移动，垂直升降模块实现了片篮盒精准移动，所述缓冲组件安装在片篮盒上，减少硅片入篮时的冲击力，减少硅片损伤。

基本信息

专利标题：

一种硅片插片入篮机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020526536.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-10

授权号：

CN212257431U

授权日：

2020-12-29

发明人：

靳立辉杨骅尹擎耿明强赵晓光杜晨鹏

申请人：

天津环博科技有限责任公司

申请人地址：

天津市滨海新区高新区华苑产业区华科大街1号

代理机构：

天津企兴智财知识产权代理有限公司

代理人：

苏冲

优先权：

CN202020526536.8

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/677