一种硅片传输装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型涉及太阳能电池加工设备技术领域,尤其涉及一种硅片传输装置。该硅片传输装置包括机械手、承载台及运输机构,所述机械手用于将硅片逐片叠放于所述承载台上,所述承载台能带动叠放的所述硅片升降,以将叠放的所述硅片放置于所述运输机构上,所述运输机构用于将所述硅片运输至指定位置。该硅片传输装置中,通过机械手实现两张硅片在承载台上的堆叠,之后通过承载台的升降将堆叠好的硅片放置于运输机构上,通过运输机构将堆叠好的硅片运输至指定位置。该插片方式不需使用压缩空气将硅片吹气,杜绝了硅片抖动的问题,从而避免堵片;两张硅片堆叠后在一同传输,避免硅片在传输过程中相互摩擦,有利于减少硅落、崩边等现象的发生。

基本信息
专利标题 :
一种硅片传输装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921644577.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-29
授权号 :
CN210167341U
授权日 :
2020-03-20
发明人 :
戴明凯张建峰
申请人 :
盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请人地址 :
江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN201921644577.0
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677  H01L21/687  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-03-02 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/677
变更事项 : 专利权人
变更前 : 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
变更后 : 阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
变更后 : 224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司
2020-03-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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