一种硅片传输带
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摘要
本实用新型公开了一种硅片传输带，包括工作台，以及与工作台连接的第一传输带和第二传输带；第一传输带和第二传输带平行设置；第一传输带和第二传输带均包括：传送带架体，安装在传送带架体两端的传送辊和调节辊，设置在传送辊和调节辊之间的O型皮带；传送带架体位于调节辊的一侧设置有张紧度调节组件；张紧度调节组件包括：安装在传送带架体表面的调节架，与传送辊固定的固定框，与固定框连接的螺杆，与螺杆连接的减速结构，以及与减速结构连接的驱动电机。该硅片传输带将现有技术中的传送皮带设计为两个平行的O型皮带，O型皮带与硅片为线接触，极大减少硅片与O型皮带之间的接触面积，减少了O型皮带对硅片底面的磨损和污染。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片传输带
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123409640.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
CN216661727U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
高洪涛韩广龙周广福
申请人 ：
苏州昶明微电子科技合伙企业（有限合伙）
申请人地址 ：
江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区星明街288号星明大厦235室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123409640.2
主分类号 ：
B65G49/07
IPC分类号 ：
B65G49/07 B65G49/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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