一种硅片传输带
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片传输带,包括工作台,以及与工作台连接的第一传输带和第二传输带;第一传输带和第二传输带平行设置;第一传输带和第二传输带均包括:传送带架体,安装在传送带架体两端的传送辊和调节辊,设置在传送辊和调节辊之间的O型皮带;传送带架体位于调节辊的一侧设置有张紧度调节组件;张紧度调节组件包括:安装在传送带架体表面的调节架,与传送辊固定的固定框,与固定框连接的螺杆,与螺杆连接的减速结构,以及与减速结构连接的驱动电机。该硅片传输带将现有技术中的传送皮带设计为两个平行的O型皮带,O型皮带与硅片为线接触,极大减少硅片与O型皮带之间的接触面积,减少了O型皮带对硅片底面的磨损和污染。
基本信息
专利标题 :
一种硅片传输带
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123409640.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
CN216661727U
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
高洪涛韩广龙周广福
申请人 :
苏州昶明微电子科技合伙企业(有限合伙)
申请人地址 :
江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区星明街288号星明大厦235室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202123409640.2
主分类号 :
B65G49/07
IPC分类号 :
B65G49/07 B65G49/06
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2022-06-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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